日常生活中，我们使用真空镀膜设备都会维护，但是很多人维护的方法都很不对，也不按照步骤来拆卸和安装真空镀膜机，今天我们就来介绍下真空镀膜机的维护步骤吧！首先我们要保证镀膜机与地面充分接触，扩散泵和油增压泵加热前必须接通冷却水并开维持泵。扩散泵和增压泵停止工作，维持泵半小时后才能关，1小时后断水，但泵内未冷却至80℃以下时，真空镀膜，不得切断冷却水，以防止泵芯烧毁。

用磁控靶源溅射金属和合金很容易，点火和溅射很方便。这是因为靶（阴极），等离子体，和被溅零件真空腔体可形成回路。但若溅射绝缘体如陶瓷则回路断了。于是人们采用高频电源，回路中加入很强的电容。这样在绝缘回路中靶材成了一个电容。但高频磁控溅射电源昂贵，溅射速率很小，同时接地技术很复杂，真空材料处理，因而难大规模采用。为解决此问题，发明了磁控反应溅射。就是用金属靶，加入反应气体如或氧气。当金属靶材撞向零件时由于能量转化，与反应气体化合生成氮化物或氧化物。 ?

轴承预紧力过大：这种情况会促进轴承游隙削减或无游隙，形成轴承升温。

轰动影响：当泵体或轴承轰动较大时都会发生轴承温度过高的表象，真空系统集成，查看泵体找出轰动缘由，消除轰动，则轴承温度康复。

光滑表象：光滑脂增加量过大过小，或光滑脂类型不符合，其使用时间过长或许光滑脂被污染都会形成轴承发热。此刻，真空，应查看光滑脂类型，问询厂家适宜的用量，调整好光滑脂即可康复轴承温度。

轴承损坏：轴承翻滚体及轴承保持架损坏后都会伴有轴承过热的表象呈现。轴承损坏有必要及时替换新轴承。

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