1、真空系统由机械泵、扩散泵、增扩泵、油增压泵、罗茨泵、埚轮分子泵等及与它们相匹配的各种气动、手动、电动阀门、管道等组成。

2、根据工艺要求选择不同规格及类型的镀膜设备，其类型有电阻蒸发、电子束蒸发、磁控溅射、磁控反应溅射、离子镀、空心阴极离子镀、多弧离子镀等。

3、炉体可选择由不锈钢、碳钢或它们的组合制成的双层水冷结构。

4、夹具运转形式有自转、公转及公转+自转方式，真空，用户可根据基片尺寸及形状提出相应要求，转动的速度范围及转动精度：普通可调及变频调速等。

轴承噪音；

阀片撞击阀座和支持件产生噪音一般是由于吸入的气体量大，泵的循环油量过多产生噪音。还有阀跳高，阀的面积大，阀片噪音就大。值得注意的是要节制进油量，关闭阀片时要严密，真空储存，要及时。

大量气、油冲击挡油板等引起的噪音；电机运行过程中产生的噪音；

当有大量气体和油排出时冲击挡油板等零部件就会发出噪音。如果零件刚性不足，或者松动，就会产生振动和碰撞，从而使噪音量变大，对于这一问题只要紧固挡油板等零件，或者选择刚度强的，同时，在和其他零件接触时，利用夹橡胶的方法还可以有效的避免振动引起的碰撞。

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