真空镀膜产品长期暴露在空气中,真空炉,面对酸碱等强腐蚀性物质的接触,还是难以抵挡。因此,平时保养维护时,真空薄膜,尽量不选用含强酸强碱或去污能力强的清洗剂,如洁厕精,超高真空,,金属清洗剂等,可以选用工业用绒布轻柔擦拭;如果表面有污垢,也要选用弱酸弱碱溶剂来处理。此外,如果长时间暴露在恶劣环境中,或与腐蚀性液体长时间接触,pvd膜层也容易出现脱落等问题,如游泳池(含),海水(含盐分多),高温高湿(蒸汽)等环境中。
管内镀膜设备及镀膜技术,安康真空,其特征在于:采用磁控溅射镀膜技术,以被镀管的管壁为真空腔的侧壁,两端进行真空密封,并设置排气口和充气管道;放电阴极为圆柱状,与被镀管同轴设置,其内部水冷,但不在其中设置磁体,阴极外表面设置圆柱靶材。
(1)减小沉积功率从60%→30%,延长沉积时间; (2)降低加热温度,300℃→常温; (3)放电气体压力从15.0 millitorr以上→7.5-8.5 millitorr。
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