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真空镀膜设备的维修及保养方法:
真空镀膜设备每完成200个镀膜程序以上，应清洁工作室一次。
方法：用（naoh）饱和溶液反复擦洗真空室内壁，（ 注意人体皮肤不可以直接接触溶液，极高真空，以免灼伤）目的是使镀上去的膜料铝（al）与naoh发生反应，超高真空电子束蒸发，反应后膜层脱落，并释放出气。再用清水清洗真空室和用布沾清洗精抽阀内的污垢。
(1)熟练掌握“真空镀膜机安全操作规程”。
(2)开机前先检查水、电、气是否正常。(冷却水压力一般可在0.2mpa以上，气在0.4mpa以上，电压在370-390v)。
(3)开机步骤：气动机械泵，约30s后开前级阀，开复合真空计，待前级抽至10pa以下且稳定时再开启扩散泵(必须到后面查看以下电炉丝是否发红)。
(4)关机步骤：关电离计，关闭高阀，真空材料处理，切断加热器电源，用前级泵抽前级自然降至室温，真空，关前级管道阀，停止机械泵，停冷却水、停电、停气。
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