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工艺气体输入系统

工艺气体,一般均由气瓶供应,经气体减压阀、气体截止阀、管路、气体流量计、电磁阀、压电阀,然后通入真空室。这种气体输入系统的优点是,管路简捷、明快,真空,维修或更换气瓶容易。各涂层机之间互不影响。也有多台涂层机共用一组气瓶的情况,这种情况在一些规模较大的涂层车间可能有机会看到。它的好处是,减少气瓶占用量,统一规划、统一布局。缺点是,由于接头增多,使漏气机会增加。而且,各涂层机之间会互相干扰,一台涂层机的管路漏气,有可能会影响到其他涂层机的产品质量。此外,更换气瓶时,必须保证所有机台都处于非用气状态。







真空镀膜技术

真空与镀膜结合改变了以往的镀膜工艺,真空材料处理,转变了镀膜技术,超高真空电子束蒸发,实现自动化镀膜功能,特别智能化,也便于维护,一个按键就能完成自动开关机生产,减少了人力资源成本;后,结合真空的特色镀膜设备不必担心产品镀膜过程受杂质影响问题,在完全真空条件下镀制均匀、致密、附着力强的膜层,使用多种技术满足不同产品镀膜要求。在真空镀膜技术还未出现的时候,用的是化学电镀技术,此种技术污染太大,科研学者一直希望研发能代替的镀膜技术。



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