对于蒸发镀膜:一般是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来。厚度均匀性主要取决于:

基片材料与靶材的晶格匹配程度，基片表面温度，极高真空，蒸发功率，速率，真空度，真空，镀膜时间，厚度大小。

组分均匀性:蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证，激光器真空系统，具体可以调控的因素同上，但是由于原理所限，对于非单一组分镀膜，蒸发镀膜的组分均匀性不好。

真空炉的创造和发展对人类进步起着十分重要的作用。在商代出现了较为完善的炼铜炉，炉温达到1200℃，炉子内径达0.8米。在春秋战国时期，人们在熔铜炉的基础上进一步掌握了提高炉温的技术，真空储存，从而生产出了铸铁。

1794年，世界上出现了熔炼铸铁的直筒形冲天炉。后到1864年，法国人马丁运用英国人西门子的蓄热式炉原理，建造了用气体燃料加热的炼钢平炉。他利用蓄热室对空气和进行高温预热，从而保证了炼钢所需的1600℃以上的温度。1900年前后，电能供应逐渐充足，开始使用各种电阻炉、电弧炉和有芯感应炉。

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