薄膜均匀性概念:厚度上的均匀性,真空材料处理,也可以理解为粗糙度,在光学薄膜的尺度上看(也就是1/10波长作为单位,真空镀膜,约为100a),真空镀膜的均匀性已经相当好,可以轻松将粗糙度控制在可见光波长的1/10范围内,邢台真空,也就是说对于薄膜的光学特性来说,真空镀膜没有任何障碍。 但是如果是指原子层尺度上的均匀度,也就是说要实现10a甚至1a的表面平整,具体控制因素下面会根据不同镀膜给出详细解释。
沈阳诺思真空技术有限公司(原沈阳天成真空技术有限责任公司)成立于2012年,是以超高真空技术为基础、从事各种真空应用设备研发、生产和销售为一体的技术型企业。
真空镀膜机溅射镀膜与蒸发镀膜的区别:蒸发镀膜是加热靶材使表面组分以原子团或离子形式被蒸发出来,并且沉降在基片表面,微光夜视真空系统,通过成膜过程(散点-岛状结构-迷走结构-层状生长)形成薄膜。
蒸发镀膜组分均匀性不是很容易保证,具体可以调控的因素同上,但是由于原理所限,对于非单一组分镀膜,蒸发镀膜的组分均匀性不好。溅射镀膜可以简单理解为利用电子或高能激光轰击靶材,并使表面组分以原子团或离子形式被溅射出来,并且终沉积在基片表面,经历成膜过程,终形成薄膜。真空镀膜机设备溅射镀膜又分为很多种,与蒸发镀膜的不同点在于溅射速率将成为主要参数之一。
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